MOCVD行業應用方案
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當前LED產品廣泛地用于顯示器、交通信號燈、汽車燈、手機鍵盤、裝飾照明等行業,政府也對該產業給予大力的支持,目前的LED產業是絕對的朝陽產業。
金屬有機物化學氣相淀積(Metal-Organic Chemical Vapor Deposition, 簡稱MOCVD)是生產LED晶圓的主流方法。
一套MOCVD設備中需要配備若干臺高功率電源設備為系統供應能量,且不同的系統部件需求不同功率等級電源設備。MOCVD的一次制程長達數個小時,在此過程中如任何一臺電源發生故障,會導致整個制程失敗,損失幾萬美元的晶圓材料以及相應的時間。因此,對于應用于MOCVD設備中的電源來說,首要的要求就是可靠性。
AMETEK Sorensen SG系列直流電源提供了MOCVD客戶所需的高可靠性的同時,還具備高精度,高功率密度,易于集成等特點,在此行業應用中,該系列產品具有良好的口碑。
在使用過程中,MOCVD廠家會使用溫度傳感器嚴格控制加熱器的溫度,同時考慮到氣態的半導體原材料,風冷的設備有可能會吸入帶電半導體顆粒導致損壞,所以部分客戶要求水冷的電源產品。AMETEK還推出水冷的高功率直流電源產品 - ASD系列產品,以進一步提高可靠性。
案例分享
某MOCVD行業領導廠家先后選購SG系列直流電源和XG系列直流電源數十臺用于LED晶圓生產。